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超声波去毛刺和清洗时，在超声波的作用下，机械振动传到清洗槽内的清洗液中，使清洗液体内交替出现疏密相间的振动，液体不断受到拉伸和压缩。疏的地方受到拉伸，形成微气泡(真空气穴)；密的地方受到压缩。由于清洗液内部受超声波的振动而频繁地拉伸和压缩，其结果使微气泡不断地产生和不断地破裂。微气泡破裂时，周围的清洗液以巨大的速度从各个方向伸向气泡的中心，产生水击。这种现象可以通过肉眼直接观察到，即在清洗液中可以看到有剧烈活动的气泡，而且清洗液上下对流。此时若将手指浸入清洗液中，则有强烈针刺的感觉。上述这种现象称为超声空化作用。
在空化作用中，微气泡的闭合形成超过1000个大气压的瞬间高压，连续不断的瞬间高压就像一连串的“炸弹”不停地轰击部件，使部件表面及缝隙之中的毛刺及污垢迅速脱落，达到去毛刺和高精度清洗效果。这就是超声波去毛刺和清洗的基本原理。
超声冲击波能在液体中产生微冲流，具有搅拌作用。在不相溶的两相液体中，微冲流能促使两液相面加速互相分散，具有乳化作用。超声空化的产生是依附于空化核进行的，而被清洗件表面的缝隙正好是空化核的中心。
总之，等离子抛光设备超声波去毛刺和清洗是超声空化作用、浸蚀作用、搅拌作用、乳化作用及空化核作用的综合表现。其中空化作用在超声波去毛刺和清洗中是起主要作用的，它能破坏毛刺、污垢微粒在被清洗件表面的粘附状态。再加上微冲流的作用，使清洗液产生振动和搅拌，将毛刺和污垢从被清洗件表面及缝隙中清除干净。而乳化作用则使清洗下来的毛刺和油污很快地分散、乳化在清洗液中。
